Agilent TV81-M分子泵維修

Varian TV81-M分子泵維修

Agilent  TV81-M
 

    簡單的講，Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T**一些，從“身高”來看就高一些，分子泵抽氣壓縮比要高出不少，根本原因是其轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)不同，Varian Turbo-V 81-M的渦輪轉(zhuǎn)子多了幾層導(dǎo)流環(huán)，詳情請見對比的圖片

意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵對應(yīng)的訂貨號(hào)如下：

Turbo-V 81-M pump with ISO 63 inlet flange   Part No. 9698901：


varian Turbo-V 81-M pump with CF 4 1⁄2” inlet flange)    Part No. 969890，

Varian Turbo-V 81-M pump with KF 40 inlet flange        Part No. 9698902,

” inlet flange 2.98 (6.57) Part No.9698904，請見下圖：

   在原子力顯微鏡中，瓦里安也有獨(dú)特的優(yōu)勢，配合其緩沖器，分子泵頂部震動(dòng)可以小于磁懸浮分子泵，能提供更清晰更穩(wěn)定的圖像。

Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技術(shù)，Macro Toree是目前世界上最有效的渦輪級(jí)設(shè)計(jì)技術(shù)。

渦輪轉(zhuǎn)子都用單獨(dú)一塊鋁合金整體加工而成， 重量最小化， 分子泵可以在360度范圍內(nèi)以任意角度工作而無需任何調(diào)整?

整體化設(shè)計(jì)降低了作用在材料和軸承上的壓力，可靠性極高。

免維護(hù)的陶瓷軸承， 無油，無污染， 平均無故障時(shí)間大大增加

瓦里安分子泵在高真空和超高真空應(yīng)用中的幾點(diǎn)優(yōu)勢
     
1. 陶瓷軸承，脂潤滑，無需維護(hù)，兩個(gè)軸承都在排氣口端，確保了清潔的真空環(huán)境。( 這對超高真空的應(yīng)用來說非常重要) ，無磁軸承，軸承對轉(zhuǎn)子的固定作用強(qiáng)，可以承受一定的外界機(jī)械沖擊。( 這對移動(dòng)式的真空機(jī)組尤為重要)
360度任意角度安裝，長壽命，平均無故障運(yùn)行時(shí)間長達(dá)12000小時(shí)。
2． 轉(zhuǎn)子葉片一次加工完成，不僅自重輕，而且大大減小了葉片內(nèi)的應(yīng)力。因此機(jī)械強(qiáng)度高，轉(zhuǎn)子壽命長
3． 擁有**技術(shù)的MacroTorr拖動(dòng)級(jí)，使得瓦里安分子泵對氣體，特別是小分子氣體，有很高的壓縮比
     分子泵對不同的氣體的抽速和壓縮比是有顯著不同的。壓縮比描述的是分子泵對特定氣體的壓縮能力。在分子泵的排氣口壓力保持不變的情況下，對壓縮比比較大的分子泵來說，氣體分子由排氣口返流回進(jìn)氣口的量較小，反之，則返流較大。
     在分子泵剛剛開始工作的階段，由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口，所以這種返流對實(shí)際抽速帶來的影響不是很大，而隨著進(jìn)氣口壓力的下降，分子泵抽下來的氣體量在減少，這時(shí)，氣體返流對抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對小分子氣體，特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
對于高真空/超高真空系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后，系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來越大，而此時(shí)氫氣的返流也越來越明顯，因此此時(shí)分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說明書給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大，分子泵對氫氣的實(shí)際有效抽速就越大；反之，則實(shí)際有效抽速已經(jīng)所剩無幾。
    例如：瓦里安公司V551分子泵對H2的壓縮比為106，所以當(dāng)壓力為10-7毫巴時(shí)對氫氣的抽速仍然可以保持500升/秒
 
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中山共享光電專業(yè)維修Agilent Varian Turbopump TV301
中山共享光電專業(yè)維修Varian TV81分子泵

Turbo-V 81-AG Navigator controller 100-240 Vac   Part No. 9698996

Turbo-V 81-AG Rack controller base       Part No. 9698988

Turbo-V 81 PCB controller 24 Vdc     Part No.9699538

Dry scroll SH 110 19.0 (43.0) SH01101 UNIV
Agilent TV81-M渦輪分子泵的參數(shù)如下：

Agilent TV81-M渦輪分子泵的外觀機(jī)械尺寸請見下圖：


Agilent Tv81-T渦輪分子泵的抽氣特性
Felight Vacuum System Co.,LTD 專業(yè)從事Agilent TV81-M分子泵維修，我司對Agilent TV81-M分子維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：

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