BOC Edwards STP301C 磁懸浮分子泵維修－中山共享光電真空技術(shù)有限公司
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Edwards STP301 Turbomolecular Vacuum Pump對應(yīng)的訂貨號為：
Edwards STP301 ISO100 Inlet KF25 Outlet B74830020
對應(yīng)的圖片：
Edwards STP301 DN100CF Inlet B74831010
Edwards STP301C ISO100 inlet KF25 outlet B74871000
Edwards STP301C ISO100 Inlet B74871010
Edwards STP301C ISO100 inlet KF40 outlet B74872000
Edwards STP301C DN100CF Inlet B74881010
Edwards STP301對應(yīng)的備件訂貨號為：
Edwards STP straight connection cable, 5m B70700000
Edwards Connection cable, 12m PT21Y0B08
Edwards STP straight connection cable, 3m B70700010
Edwards STP301磁懸浮分子泵用途為：
Plasma etch (chlorine, fluorine and bromine chemistries) for
metal (aluminum), tungsten and dielectric (oxide) and polysilicon
Electron cyclotron resonance (ECR) etch
Film deposition CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
Sputtering
Ion implantation source, beam line pumping end station
BOC Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C
愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵
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上圖中，大的就是Edawrds STP451磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)子，小的為Edwards EXT75DX復合分子泵的轉(zhuǎn)子，做對比用
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Edwards STP301C磁懸浮分子泵的技術(shù)特性及機械尺寸圖
BOC Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式
英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451C STP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range分子泵
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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
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Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
Felight Vacuum System Co.,LTD 專心從事BOC Edwards STP-301C 磁懸浮分子泵維修。我司針對的BOC Edwards STP-301C 磁懸浮分子泵維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-48000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-48000rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準
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